РЕЗУЛЬТАТЫ ВЫПОЛНЕНИЯ РАБОТ ПО ПРОЕКТУ НА ЭТАПЕ 2: Разработка научно-технологических основ создания легированных покрытий на основе кремний -углеродных соединений

1. Разработаны компонентные составы легированных тонкопленочных покрытий на основе диэлектрической матрицы из кремний-углеродных соединений, обладающих высокой стойкостью к химически агрессивным средам

2. Разработана лабораторная технологическая инструкция получения стойких к химически агрессивным средам легированных покрытий основе диэлектрической матрицы из кремний-углеродных соединений на подложках из материалов различного типа для управления электропроводностью за счет внешнего воздействия

3. Изготовлены экспериментальные образцы стойких к химически агрессивным средам легированных тонкопленочных покрытий на основе диэлектрической матрицы из кремний-углеродных соединений на подложках из материалов различного типа для управления электропроводностью за счет внешнего воздействия, характер зависимости электропроводности которых от температуры может быть задан

4. Разработана Программа и методики исследовательских испытаний экспериментальных образцов стойких к химически агрессивным средам легированных тонкопленочных покрытий на основе диэлектрической матрицы из кремний-углеродных соединений на подложках из материалов различного типа для управления электропроводностью за счет внешнего воздействия

5. Проведены исследовательские испытания экспериментальных образцов стойких к химически агрессивным средам легированных тонкопленочных покрытий на основе диэлектрической матрицы из кремний-углеродных соединений на подложках из материалов различного типа для управления электропроводностью за счет внешнего воздействия по разработанным Программе и методикам

6. Изготовлен лабораторный стенд для проведения исследовательских испытаний стойких к химически агрессивным средам легированных тонкопленочных покрытий на основе диэлектрической матрицы из кремний-углеродных соединений на подложках из материалов различного типа