Перечень услуг, оказываемых ЦКП «Микросистемной техники и интегральной сенсорики»:
1 Термический отжиг образцов
2 ИК-отжиг образцов в вакууме
3 Скрайбирование
4 Центрифугирование
5 Нанесение контактов
6 ВЧ-напыление сегнетоэлектрических пленок
7 Измерение толщины пленок
8 Измерение сопротивления образцов полупроводниковых структур
9 Измерение характеристик сенсоров газов
10 Исследование характеристик сегнетоэлектрических пленок
11 Нанесение диэлектрических слоев
Услуги предоставляются в рамках договорных отношений.
Расчет стоимости услуг производится исходя из себестоимости одного часа работы используемого оборудования, себестоимости расходных материалов, а также времени, затрачиваемого на оказание услуги.
Для проведения работ на оборудовании ЦКП необходимо ознакомится с «порядком доступа к оборудованию», заполнить заявку и отправить ее контактному лицу.
Документы: заявка, порядок доступа к оборудованию, типовой договор.