Тема: «Разработка и создание кремний-углеродных функциональных тонкопленочных материалов, легированных частицами металлов, с изменяющейся электропроводностью в результате внешних воздействий применяемых для создания сенсоров газов и электродов суперконденсаторов» Определены основные технологические режимы осаждения кремний — углеродных пленок, в том числе и модифицированных атомами металлов, на подложки из кремния и поликора с проводящим подслоем Cr-Cu. Показано, что из … Читать далее Результаты выполнения проекта по соглашению № ЭБ: 075-15-2019-028 на Этапе 3.